Filmetrics F60-t 自動光反射膜厚儀

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Filmetrics F60-t 自動光反射膜厚儀產品介紹：

Filmetrics F60-t 自動光反射膜厚儀就像我們的F50白光干涉膜厚測量儀產品一樣。主要測繪薄膜厚度和折射率。但它增加了許多用于生產環(huán)境的功能。這些功能包括凹槽自動檢測、自動基準確定、全封閉測量平臺、預裝軟件的工業(yè)計算機，以及可以升級到全自動化晶圓傳輸的機型。

Filmetrics F60-t 自動光反射膜厚儀特點優(yōu)勢：

自動化薄膜厚度繪圖系統，快速定位、實時獲得結果；
可測樣品膜層：基本上光滑的。非金屬的薄膜都可以測量；
所有系統皆使用直觀的標準分析軟件；
凹槽自動檢測
自動基準確定
全封閉測量平臺

Filmetrics F60-t 自動光反射膜厚儀產品測量原理：

當入射光穿透不同物質的界面時將會有部分的光被反射，由于光的波動性導致從多個界面的反射光彼此干涉，從而使反射光的多波長光譜產生震蕩的現象。從光譜的震蕩頻率，可以判斷不同界面的距離進而得到材料的厚度（越多的震蕩代表越大的厚度），同時也能得到其他的材料特性如折射率與粗糙度。

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Filmetrics F60-t 自動光反射膜厚儀產品應用：

半導體膜層	顯示技術	消費電子	派瑞林
光刻膠	OLED	防水涂層	電子產品/電路板
介電層	ITO和TCOs	射頻識別	磁性材料
砷化鎵	空氣盒厚	太陽能電池	醫(yī)學器械
微機電系統	PVD和CVD	鋁制外殼陽極膜	硅橡膠

Filmetrics F60-t 自動光反射膜厚儀產品參數：

波長范圍：	190nm-1340nm	光源：	鎢鹵素燈
光斑大?。?/span>	標準1.5毫米（最小可達150μm）	測量精度：	0.02nm1
準確度*：取較大者	1nm或0.2%	穩(wěn)定性：	0.05nm3
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